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          OceanOptics光纖光譜儀>> 應用系統>>等離子體監測控制儀PlasCalc  

          PlasCalc等離子體監測控制儀,實現200nm-1100nm波段內的等離子體測量,通過高級過程控制系統及精密數據存取算法,只需3m就可以獲得測量結果。

           

          特點

          • 光學分辨率1.0nm(FWHM)
          • 光譜范圍 200-1100nm
          • 快速的建模及存儲實驗方法

          Recipe編輯器

          Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構建及存儲實驗方法。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監測、表面潔度監測、等離子體室控制及異常污染、排放監測等,能夠快速簡單的構建模塊過程控制。

           

          多種工具用于等離子體診斷

          PlasCalc配置的操作軟件,集成的程式編輯器能夠容易實現多種數學算法功能。可選的波長發生器(可以單獨購買)用于類型確認,而波長編輯器可以用于優化信噪比。雙窗口界面用于顯示實際光譜及所有過程控制信息。

           

          PlasCalc 配置說明

          光譜范圍:

          200-1100 nm

          光學分辨率:

          1.0 nm (FWHM)

          D/A 轉換:

          14 bit

          數字I/O:

          8 x TTL

          模擬輸出:

          4 x [0-10V]

          接口:

          USB 1.1

          功耗:

          12 VDC @ 1.25 A

          電源:

          90-240 VAC 50/60 Hz

          尺寸:

          257 mm x 152 mm x 263 mm

          重量:

          5 kg

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          等離子體監測控制儀PlasCalc
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